1、固相法主要包括以下幾種:碳熱還原法、Si與C直接反應(yīng)法。
2、液相法主要包括以下幾種:溶膠—凝膠法、聚合物熱分解法和溶劑熱法。
3、氣相法主要包括以下幾種:化學(xué)氣相沉積法(CVD)、等離子體法、激光誘導(dǎo)氣相法。聯(lián)系我們
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